Взаимодействие излучения с веществом Radiation Лабораторные занятия
Вводная лекция
Взаимодействие электронных пучков с твердыми телами В электронных микроскопах для получения информации о строении объекта следят за взаимодействием электронного пучка с образом. Экспериментально мы можем различить и исследовать следующие типы сигналов: Ø Ø Ø Оже-сигнал SE – сигнал BSE – сигнал Рентгеновские спектры Флюоресценция
Оже-сигнал Ø Очень малая область генерации (источник сигнала почти равен сечению пучка) Ø Только поверхностный сигнал (глубина выхода ~1 нм, не зависит от состава объекта) Ø Энергия оже-электрона (50 -2000 э. В) не зависит от энергии падающего пучка, но зависит от химического состава образца. Ø Сигнал изучают только в сверхвысоком вакууме, из-за сильного влияния адсорбата.
SE - сигнал Ø Ø Малая энергия электронов Малая область генерации Чувствителен к рельефу Широкое угловое распределение
BSE - сигнал Ø Энергия электронов, примерно равная энергии пучка. Ø Средняя область генерации Ø Чувствителен к атомному номеру Ø Узкое угловое распределение
Рентгеновские спектры
Интенсивность суммарного электронного сигнала от образца а – SE сигнал (<50 э. В) б – не упруго отраженные электроны в – BSE сигнал 1 – Оже сигнал (50 -2000 э. В) 2 – отражение электронов, рассеянных на неровностях поверхности. 3 – упругое отражение
Почему мы получаем такую картину? Практическое занятие
Скачать презентацию Взаимодействие излучения с веществом Radiation Лабораторные занятия
типы сигналов.pptx