Вакуумно-дуговой испаритель
o Вакуумно-дуговой разряд – это самостоятельный разряд, развивающийся в парах материала катода.
РАБОЧАЯ ПОВЕРХНОСТЬ КАТОДА, ФОТОГРАФИИ ПОЛУЧЕНЫ С ПОМОЩЬЮ РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА JSM 35 ZF
ВАКУУМНО-ДУГОВОЙ ИСТОЧНИК ПЛАЗМЫ КОАКСИАЛЬНОЙ КОНСТРУКЦИИ o o o o o 1 – анод; 2 – катод; 3 – поджигающий электрод; 4 – экран; 5– стабилизирующий соленоид; 6 – фокусирующий соленоид; 7 – рабочий объем; 8 – планетарный механизм; 9 – зонд
Классический дуговой испаритель
ОСОБЕННОСТИ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ИСТОЧНИКОВ ПЛАЗМЫ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ТИПЫ ПОКРЫТИЙ НАНОСИМЫХ ИЗ МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ПЛАЗМЫ o o o 1– чистые металлы; 2– соединения; 3– сложные соединения; 4– сложные комбинированные покрытия