Техника сканирующей зондовой микроскопии Принципы работы
Принципы работы сканирующих зондовых микроскопов 0. 1 -10 nm
Сканирующие элементы зондовых микроскопов uij=dijk. Ek uz=u 33=d 33 Ez ur=u 22=d 23 Ez
Трипод из трубчатых элементов
Трубчатый пьезосканер
Биморф
Трехкоординатный сканер на трех биморфах
Схема биморфного пьезосканера
Нелинейность пьезокерамики E* 100 V/mm
Ползучесть пьезокерамики
Гистерезис пьезокерамики
Устройства для прецизионных перемещений зонда и образца Рычажный редуктор перемещений
Пружинный редуктор перемещений
Шаговый электродвигатель с постоянными магнитами 100 -400 шагов (3. 6 - 0. 9 ) При шаге резьбы 0. 1 мм – точность 0. 25 - 1 мк
Шаговый пьезодвигатель
Форма импульса управляющего напряжения шагового инерционного пьезодвигателя Fтр< ma
Защита от вибраций
Защита от вибраций
Пассивные виброизолирующие системы
Оценка размеров пассивной виброизолирующей системы p=1 Гц, Dl=25 см (2 Dl=50 см) p=10 Гц, Dl=2. 5 мм (2 Dl=5 мм)
Схема активной виброизолирующей системы
Активная виброизолирующая система
Защита от акустических шумов
Термодрейф
Стабилизация термодрейфа