Схема поршневого насоса Схема пластинчато-роторного насоса

Схема поршневого насоса

Схема пластинчато-роторного насоса

Схема двухроторного насоса

Схема турбомолекулярного насоса

Принцип работы турбомолекулярного насоса Турбомолекулярный насос состоит из серии вращающихся (ротор) и неподвижных (статор) пропеллеров. Пропеллеры ротора и статора чередуются и имеют противоположный наклон лопаток. Работа насоса основана на передаче момента энергии от поверхности быстро вращающегося пропеллера к молекуле газа. Скорость движения поверхности должна быть высокой для того, чтобы достичь оптимальной эффективности откачки (скорости откачки и отношения сжатия). При столкновении молекулы газа с поверхностью пропеллера составляющая скорости движения молекулы, направленная вниз увеличивается, вследствие чего вероятность движения молекулы в направлении А-В значительно возрастает в сравнении с вероятностью движения в направлении В-А. Чередование ступеней ротора и статора в обычном турбомолекулярном насосе обеспечивает отношение сжатия.

Принцип работы турбомолекулярного насоса

Схема трехступенчатого паромасляного насоса

Схема криогенного насоса Крионасосы не перемещают молекулы газа, а замораживают их. В связи с этим у крионасосов отсутствуют какие-либо подвижные части или жидкие среды, контактирующие непосредственно с вакуумом из откачиваемого объема. Это обстоятельство полностью исключает вероятность загрязнения рабочего объема в процессе откачки.

Цеолитовый насос Цеолитовые вакуумные насосы относятся к адсорбционным насосам. Их принцип действия основан на физической адсорбции газа кристаллическими пористыми алюмосиликатами, получившими название молекулярных сит или искусственных цеолитов.

Схема диодного магниторазрядного насоса Основная откачка активных газов магниторазрядными насосами осуществляется в результате хемосорбции газов постоянно возобновляемой пленкой титана. Непременным условием эффективной и устойчивой работы магниторазрядных насосов, является соответствие количества распыляемого титана количеству поступающего газа.

Геттерно-ионный насос ГИН-05 М 1

В геттерных насосах в качестве газопоглотителей применяют чаще всего титан, хотя могут быть использованы и другие металлы (барий, хром). Титан образует практически нелетучие при комнатной температуре устойчивые твердые соединения или твердые растворы почти со всеми газами, имеющимися в вакуумных системах, кроме инертных газов и углеводородов. При испарении газопоглотителя в замкнутом объеме на стенках образуется свежий активный слой, на поверхности которого происходит контактное поглощение газа в результате физической адсорбции, хемосорбции, а также химических реакций и растворения газа в твердой фазе. При возбуждении и ионизации откачиваемых газов за счет электрического разряда или электронных потоков поглощение газов активными пленками идет более эффективно. С другой стороны, процесс ионизации дает возможность связать и инертные газы.