Разбор статьи Study of and plasmas in a

Зарегистрируйтесь, чтобы просмотреть полный документ!

Разбор статьи «Study of and plasmas in a hollow cathode reactive ion etching reactor using Langmuir probe and optical emission spectroscopy techniques» Выполнил Лисовский Степан

Введение в статью Ключевые моменты: Использование HCRIE реактора Использование зондов Ленгмюра Использование актинометрии Понятие эффективной температуры Исследование влияния питания Исследования влияния дополнительного кислорода • Исследование генерации атомов фтора • • •

HCRIE реактор

Зонд Ленгмюра

Актинометрия

Эффективная температура

Результаты по влиянию питания

Результаты по влиянию концентрации кислорода

Результаты по генерации атомов фтора

Итоги: • При малых давлениях и высоком питании ФРЭ би. Максвелловская • С увеличением давления концентрация электронов уменьшается • Температура резко увеличивается от 6 до 18 э. В с увеличением давления от 6, 3 до 56, 6 м. Торр при фиксированном питании • Концентрации положительных и отрицательных ионов практически равны • Концентрация электронов может быть увеличена добавлением кислорода, однако температура уменьшится • Скорость травления в плазме с высокой концентрацией атомов фтора – 2 -5 мкм/мин

Спасибо за внимание!

Скачать презентацию Разбор статьи Study of and plasmas in a

Актинометрия.pptx

Количество слайдов: 11