Прохождении научно-исследовательской практики на «НИИМЭ и Микрон» Студент группы ЭКТ-59 М Логачёв Максим Андреевич
За время прохождения практики: Освоил работу на установках жидкостного травления и метрологических установках, изучил особенности технологических маршрутов жидкостной химической обработки пластин, приобрел навыки выполнения технологических измерительных операций на метрологических установках различного типа, анализа отклонений возможных на операциях жидкостной химической обработки и способов их устранения, анализы результатов аттестаций состояний технологических процессов и оборудования, структуры рецептов технологических процессов.
Эксперименты и исследования Выявление частиц меди на установке нитридизации. Разработка рецепта для травления 500 А окисла. Тестирование рецептов для топологической нормы 90 нм.
Результаты работы проведение аттестаций на установках ЖХТ выполнение ОСАР управление несоответствующей продукцией обработка рабочей продукции