Производство интегральных микросхем Весна 2016 Лекция 10 Интегральные

Производство интегральных микросхем Весна 2016 Лекция 10 Интегральные микросхемы (часть 2) Производство интегральных микросхем 1 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 Производство интегральных микросхем Основные этапы: 1. Изготовление монокристалла 2. 2. Разрезка монокристалла на пластины и их подготовка 3. 3. Формирование слоев 4. 4. Металлизация 5. 5. Резка пластин 6. 6. Установка в корпус 2 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 Изготовление монокристалла методом Чохральского 1 -Тигель с расплавом 2. – печь 3 – затравка 4 – холодильник 5 – механизм вытягивания 3 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 Разрезка монокристалла на пластины 4 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 Схема формирования слоев методом фотолитографии 5 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 Нанесение защитной пленки диэлектрика Si. O 2 6 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 Нанесение фоторезистива 7 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 Формирование рисунка 8 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 Фотошаблон 9 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 Установка EUV-литографии 10 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 Установка EUV-литографии 11 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 Травление 12 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 Схема установки травления, промывки и сушки 1 – ротор 2 – днище камеры с отверстием 3 – форсунка сушки 4 – форсунка травления и отмывки 5 – платформа с пластинами 6 – съемная крышка 13 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 Формирование слоев (диффузия) 14 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 Рабочая камера диффузионной печи 15 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 Метод ионной имплантации 16 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 Метод ионной имплантации 17 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 Ломка пластин на отдельные кристаллы 18 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 Установка в корпус 19 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 20 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 21 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 Технология «напряженный кремний» 22 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354

Производство интегральных микросхем Весна 2016 24 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70 -21 -354