Презентация насоса типа Рутса Выполнил студент гр 234122

Презентация насоса типа Рутса Выполнил: студент гр. 234122 Нургалиев А. И.

Схема – разрез насоса Рутса Газовый поток Впуск Выпуск Сопрягающиеся ротора

СТАДИИ РАБОТЫ НАСОСА РУТСА впуск 2 1 3 1 6 выпуск 5 4

Обратный поток в области низкого вакуума Стадия сжатия Обратный поток

Параметры насосов Рутса Насос Рутса не является компрессором, и предназначен для транспортирования больших объемов газа Насос Рутса работает при определенном перепаде давлений Для работы необходим форвакуумный насос Наиболее эффективная откачка в диапазоне давлений от 1 до 10 -2 мбар Рабочий зазор 0. 1 -0. 5 мм Скорость откачки от 150 до 30, 000 м 3 ч-1

Преимущества «сухих» насосов Высокая производительность Стабильность процесса откачки Высокий предельный вакуум БЕЗМАСЛЯННЫЙ ВАКУУМ – ЧИСТЫЙ ПРОЦЕСС

Достоинства предлагаемой системы ЭКОНОМИЧНОСТЬ: Отсутствует масло: отсутствует масляный фильтр, нет необходимости в утилизации отработанной жидкости, нет необходимости в фильтрах масляного тумана Увеличивается производительность производства Простое обслуживание: не требует замены масла, не требует смены масляного фильтра, периодичность кап. ремонта 6 лет, нет протечек масла, нет потерь вакуума. Простое обслуживание пылевых фильтров: сетчатые очищаемые экраны Сокращение времени откачки: требуется меньшее количество операций по чистке вакуумной магистрали (допускаемая зернистость пыли <50 микрон) меньшее газовыделение

Преимущества предлагаемой системы Улучшенное качество проведения технологического процесса: Значительно меньшие вибрации Высокое качество вакуума ( время откачки & стабильный уровень рабочего вакуума ): отсутствие углеводородов или двуокиси кремния в расплаве и рабочей камере. Повторяемость откачных характеристик от цикла к циклу Отсутствие масляных протечек Стабильность откачных характеристик от условий окружающей среды ( «сухие» насосы имеют высокую производительность по откачке паров ) Большая производительность по Аргону ( специально адаптированное рабочее тело насоса ) Мониторинг системы, Возможность сигнализации

Недостатки Небольшая степень повышения давления Несовершенство процесса сжатия Более высокая температура газа на нагнетании Высокий уровень шума.

Сравнения стоимости эксплуатации насосов

Видео

РЖ-61

РЖ-61