Поверхностное модифицирование РТИ методом магнетронного распыления Введение

Поверхностное модифицирование РТИ методом магнетронного распыления

Введение • Одним из важнейших показателей, определяющих спрос на проектируемый объект, является его качество. Обеспечение необходимого качества возможно при удовлетворении эксплуатационных требований, предъявляемых к деталям машин.

• Требования по созданию долговечных машин можно удовлетворить не только разработкой современных конструкционных решений и применением новых высокопрочных материалов, но и путем изменений поверхностного слоя деталей машин.

Резинотехнические изделия (РТИ) находят свое применение практически во всех отраслях промышленности: отрасли по производству автомобилей, тракторов, сельхозтехники,

• Повышение прочности и износостойкости резинотехнических изде лий (РТИ) к настояшему времени при объемном модифицировании дости гается за счет всевозможных добавок в «сырую» резину перед вулканизацией.

• Преимуществом поверхностного модифицирования является возможность обра батывать уже готовые РТИ без изменения технологии их производства.

• Среди методов нанесения защитных покрытий, основанных на воздействии на поверхность детали потоков частиц и квантов с высокой энергией, большое внимание уделяется вакуумным ионно плазменным методам.

Эти методы позволяют: • обеспечивать высокую адгезию покрытия к подложке; • получать равномерные покрытия по толщине на большой площади; • варьировать состав покрытия в широком диапазоне, в пределах одного технологического цикла; • получить высокую чистоту поверхности покрытия; • обеспечивать экологическую чистоту производственного цикла.

• Магнетронное распыление — технология нанесения тонких плёнок на подложку с помощью катодного распыления мишени в плазме магнетронного разряда — диодного разряда в скрещенных полях. Технологические устройства, предназначенные для реализации этой технологии называют магнетронными распылительными системами или, сокращённо, магнетронами.

Магнетронная распылительная система (магнетрон)

Принцип работы магнетрона

Процесс распыления мишени