Скачать презентацию ОСНОВНЫЕ ВИДЫ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО РАЗРЯДА В ГАЗЕ Классификация Скачать презентацию ОСНОВНЫЕ ВИДЫ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО РАЗРЯДА В ГАЗЕ Классификация

7ОСНОВНЫЕ ВИДЫ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО РАЗРЯДА В ГАЗЕ .ppt

  • Количество слайдов: 105

ОСНОВНЫЕ ВИДЫ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО РАЗРЯДА В ГАЗЕ ОСНОВНЫЕ ВИДЫ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО РАЗРЯДА В ГАЗЕ

Классификация разрядов Электрические разряды в газе подразделяются на самостоятельные и несамостоятельные. Несамостоятельным называется разряд, Классификация разрядов Электрические разряды в газе подразделяются на самостоятельные и несамостоятельные. Несамостоятельным называется разряд, требующий для его поддержания независимого источника заряженных частиц (нагревание катода, облучение газа светом, рентгеновским или радиоактивным излучением). Самостоятельным называется разряд, в котором генерация зарядов и их движение в разрядном промежутке осуществляется только за счёт энергии внешнего электрического поля.

Самостоятельный разряд в свою очередь подразделяется на несколько типов: 1. Тлеющий разряд характеризуется большим Самостоятельный разряд в свою очередь подразделяется на несколько типов: 1. Тлеющий разряд характеризуется большим катодным падением потенциала и своеобразным чередованием тёмных и светлых полос. Тлеющий разряд возникает при средних давлениях (0, 1 -104 Па) и среднем внутреннем сопротивлении источника питания. 2. Дуговой разряд возникает при высоких давлениях и наличии мощного источника питания. 3. Искровой разряд имеет вид зигзагообразных ломаных линий, сопровождается характерными звуковыми эффектами. Искровой разряд возникает при высоком давлении и наличии высоковольтного, но маломощного источника питания.

Самостоятельный разряд в свою очередь подразделяется на несколько типов: 4. коронный 5. факельный 6. Самостоятельный разряд в свою очередь подразделяется на несколько типов: 4. коронный 5. факельный 6. высокочастотный (ВЧ) 7. сверхвысокочастотный (СВЧ)

Несамостоятельный газовый разряд Несамостоятельный разряд был впервые экспериментально исследован Столетовым при изучении фотоэффекта. Объяснение Несамостоятельный газовый разряд Несамостоятельный разряд был впервые экспериментально исследован Столетовым при изучении фотоэффекта. Объяснение основных закономерностей несамостоятельного разряда было дано Таунсендом в его теории электронных лавин.

Рассмотрим процессы между двумя находящимися в газовой среде плоскими электродами, к которым приложена разность Рассмотрим процессы между двумя находящимися в газовой среде плоскими электродами, к которым приложена разность потенциалов Uа. Допустим, что 1) напряжённость поля в пространстве между электродами постоянна и равна U/d 2) напряжённость поля достаточно велика, чтобы обеспечить направленное движение электронов и ионов 3) из катода под действием внешних факторов в единицу времени выходит электронов

Развитие лавины в разрядном промежутке Развитие лавины в разрядном промежутке

Закон нарастания тока в междуэлектродном промежутке: Ia – электронный ток на анод Iк – Закон нарастания тока в междуэлектродном промежутке: Ia – электронный ток на анод Iк – ток электронной эмиссии с катода - числом электронов, выбиваемых из катода одним ионом a- Таунсендовский коэффициент объёмной ионизации

несамостоятельный разряд несамостоятельный разряд

Условие развития самостоятельного разряда Пробой разрядного промежутка Условие развития самостоятельного разряда Пробой разрядного промежутка

Типичный вид кривой Пашена U 3 = f(P d) Типичный вид кривой Пашена U 3 = f(P d)

Кривые Пашена для различных газов и газовых смесей Кривые Пашена для различных газов и газовых смесей

Тлеющий разряд Для тлеющего разряда характерно наличие двух резко различающихся участков: небольшой по протяжённости Тлеющий разряд Для тлеющего разряда характерно наличие двух резко различающихся участков: небольшой по протяжённости катодной области, в которой имеется большое падение потенциала, и положительного столба, представляющего собой плазму.

Структура тлеющего разряда 1 - Астоново тёмное пространство 2 - катодное свечение 3 - Структура тлеющего разряда 1 - Астоново тёмное пространство 2 - катодное свечение 3 - Круксово тёмное пространство 4 - тлеющее свечение 5 - Фарадеево тёмное пространство 6 - положительный столб 7 - анодное тёмное пространство 8 - анодное свечение

Катодные области тлеющего разряда Поскольку в катодной области имеется объёмный заряд, при ее описании Катодные области тлеющего разряда Поскольку в катодной области имеется объёмный заряд, при ее описании необходимо исходить из уравнения Пуассона:

Катодные области тлеющего разряда Преобразуя уравнение Пуассона к виду и заменяя dk по уравнению Катодные области тлеющего разряда Преобразуя уравнение Пуассона к виду и заменяя dk по уравнению получим теоретическую ВАХ катодных областей тлеющего разряда

Катодные области тлеющего разряда Теоретическая ВАХ катодных областей разряда Катодные области тлеющего разряда Теоретическая ВАХ катодных областей разряда

Реальная вольт-амперная характеристика катодных областей тлеющего разряда Участок Реальная вольт-амперная характеристика катодных областей тлеющего разряда Участок "аb" характеристики соответствует нормальному тлеющему разряду, а участок "bс" - аномальному.

Катодные области разряда При некотором значении тока на катоде устанавливается плотность тока jкn и Катодные области разряда При некотором значении тока на катоде устанавливается плотность тока jкn и катодное падение потенциала снижается до минимальной величины Uкn. Дальнейшее уменьшение катодного тока ведёт не к уменьшению плотности тока, а к уменьшению площади катода, покрытой свечением. При этом плотность тока и катодное падение потенциала остаются неизменными.

Нормальный тлеющий разряд Для нормального тлеющего разряда характерны постоянные по величине плотность тока на Нормальный тлеющий разряд Для нормального тлеющего разряда характерны постоянные по величине плотность тока на катод jкн и нормальное катодное падение потенциала Uкн. Величина Uкн зависит от рода газа и материала электрода. Для каждой комбинации газ - материал катода существуют также определённые значения jкн/Р 2 и Рdкн, которые в области нормального тлеющего разряда постоянны.

Аномальный тлеющий разряд В аномальном разряде закономерности сложнее и выводы теории хуже совпадают с Аномальный тлеющий разряд В аномальном разряде закономерности сложнее и выводы теории хуже совпадают с экспериментом. Поэтому обычно пользуются эмпирическими формулами вида

Приборы тлеющего разряда 1. Двухэлектродные световые индикаторы 2. Стабилитроны 3. Двухэлектродные высоковольтные вентили 4. Приборы тлеющего разряда 1. Двухэлектродные световые индикаторы 2. Стабилитроны 3. Двухэлектродные высоковольтные вентили 4. Тиратроны различного назначения 5. Переключаемые световые индикаторы 6. Приборы десятичного счёта и коммутаторы 7. Разрядники 8. Газосветные лампы тлеющего разряда с положительным столбом 9. Газоразрядные приборы для отображения информации 10. Газоразрядные оптические квантовые генераторы (лазеры)

Вольт-амперная характеристика газоразрядного стабилизатора напряжения Вольт-амперная характеристика газоразрядного стабилизатора напряжения

Стабилитрон Фотография прибора Стабилитрон Фотография прибора

Газоразрядные источники света Газоразрядным источником света называют прибор, в котором излучение видимого диапазона возникает Газоразрядные источники света Газоразрядным источником света называют прибор, в котором излучение видимого диапазона возникает в результате различных процессов, связанных с прохождением электрического тока через газ.

В зависимости от того, что является основным источником излучения, газоразрядные лампы подразделяются на: 1. В зависимости от того, что является основным источником излучения, газоразрядные лампы подразделяются на: 1. Газоразрядные лампы, в которых основным источником излучения являются возбуждённые атомы, молекулы. 2. Фотолюминесцентные (или просто люминесцентные) лампы, в которых основным источником света является люминофор, возбуждаемый излучением газового разряда. 3. Электродосветные лампы, в которых излучающим элементом являются электроды, нагреваемые в газовом разряде до высокой температуры.

Люминесцентные лампы l Лампы для освещения жилых и служебных помещений. l Приборы, дающие УФ Люминесцентные лампы l Лампы для освещения жилых и служебных помещений. l Приборы, дающие УФ излучение (эритемные, бактерицидные). l Различные лампы специального назначения, импульсные приборы. l ИК лампы

Люминесцентные лампы Компактные энергосберегающие лампы Люминесцентные лампы Компактные энергосберегающие лампы

Классы газоразрядных индикаторных панелей: 1. Многоразрядные знаковые индикаторы (монодисплеи) 2. ГИП постоянного тока с Классы газоразрядных индикаторных панелей: 1. Многоразрядные знаковые индикаторы (монодисплеи) 2. ГИП постоянного тока с внешней адресацией 3. ГИП постоянного тока с внутренней развёрткой (самосканированием) 4. ГИП переменного тока

Газоразрядные знаковые индикаторы (монодисплеи) Представляют собой объединённую в одном плоском корпусе строку из большого Газоразрядные знаковые индикаторы (монодисплеи) Представляют собой объединённую в одном плоском корпусе строку из большого числа одноразрядных индикаторов. Для отображения цифровой информации (от 0 до 9) достаточно 7 - 9 сегментов, для буквенной используется от 14 до 19 сегментов

Схема сегментных ГИП: а - структурная схема, б - семисегментный индикатор, в - четырнадцатисегментный Схема сегментных ГИП: а - структурная схема, б - семисегментный индикатор, в - четырнадцатисегментный индикатор

Газовое наполнение ГИП подбирается с учётом обеспечения: lзаданной яркости излучения lминимально возможных напряжения зажигания Газовое наполнение ГИП подбирается с учётом обеспечения: lзаданной яркости излучения lминимально возможных напряжения зажигания и потребляемой мощности lзаданных частотных характеристик lвозможно меньшей скорости распыления материала катода, что во многом определяет долговечность катода

Газоразрядная индикаторная панель Газоразрядная индикаторная панель

Цветной плазменный экран с диагональю 3 метра Цветной плазменный экран с диагональю 3 метра

Основные достоинства плазменных цветных экранов, отличающие их от основанных на других технологиях: lвозможность показа Основные достоинства плазменных цветных экранов, отличающие их от основанных на других технологиях: lвозможность показа полноцветного телевизионного и компьютерного изображений высокого качества lширокий угол обзора lмалая толщина (около 10 см) lотсутствие геометрических искажений lотсутствие вредных излучений lотсутствие проблем с чистотой цвета и мерцанием изображения

Параметры типового ряда экранов: l Базовый с разрешением 768 х 576 полноцветных точек, собранный Параметры типового ряда экранов: l Базовый с разрешением 768 х 576 полноцветных точек, собранный из 12 х 9 панелей; имеет размеры 2, 4 х 1, 8 м (диагональ 3 м). Оптимален для отображения компьютерного и телевизионного изображений в стандартах PAL, SECAM и NTSC. l С разрешением 640 х 512 полноцветных точек, собранный из 10 х 8 панелей, имеющий размеры 2 х 1, 6 м (диагональ 2, 6 м). Оптимален для отображения телевизионного изображения в стандарте NTSC и компьютерного изображения.

Применения тлеющего разряда Одним из важнейших применений тлеющего разряда являются газоразрядные лазеры ( гелий Применения тлеющего разряда Одним из важнейших применений тлеющего разряда являются газоразрядные лазеры ( гелий – неоновые, на парах металлов, эксимерные, ионные, молекулярные, в том числе СО 2 лазеры).

Дуговой разряд в виде электрической или вольтовой дуги был открыт В. В. Петровым в Дуговой разряд в виде электрической или вольтовой дуги был открыт В. В. Петровым в 1802 году. Дуговой разряд возникает при высоком давлении и при наличии мощного источника питания. Для дугового разряда характерны яркое свечение и высокая температура газа (до 10000 К) и электродов (до 3000 К)

Плазма является самым распространенным агрегатным состоянием вещества. Из плазмы состоит более 99 % наблюдаемой Плазма является самым распространенным агрегатным состоянием вещества. Из плазмы состоит более 99 % наблюдаемой вселенной. Общеизвестными являются следующие формы плазмы: Лабораторные и промышленные 1. Пламена 2. Сварочная дуга 3. Люминесцентные лампы 4. Выхлоп ракет 5. Плазма для управляемого термоядерного синтеза

Дуговой разряд Внешний вид Дуговой разряд Внешний вид

Дуговые разряды классифицируются по эмиссионным процессам на катоде. Можно установить четыре типа разрядов: 1. Дуговые разряды классифицируются по эмиссионным процессам на катоде. Можно установить четыре типа разрядов: 1. дуга с термоэлектронной эмиссией, катод которой разогревается разрядом, а дуга является самоподдерживающейся 2. дуга с термоэлектронной эмиссией, катод которой нагревается извне 3. дуга с автоэлектронной эмиссией 4. металлическая дуга В зависимости от давления газа при разряде различают дугу низкого давления (Р<<1 атм) и дугу высокого давления (Р 1 атм).

Дуга с автоэлектронной эмиссией Кроме термоэлектронной эмиссии в дуговых разрядах наблюдается электростатическая эмиссия. Образованию Дуга с автоэлектронной эмиссией Кроме термоэлектронной эмиссии в дуговых разрядах наблюдается электростатическая эмиссия. Образованию сильного электрического поля около катода способствует интенсивное испарение материала катода, создающее непосредственно около него высокое давление пара.

Дуга с автоэлектронной эмиссией При этом средняя длина пробега электронов, а следовательно, и протяжённость Дуга с автоэлектронной эмиссией При этом средняя длина пробега электронов, а следовательно, и протяжённость участка катодного падения потенциала уменьшается до величин порядка 10 -7 м, что при значениях порядка 10 -20 вольт даёт среднюю напряжённость поля в катодном участке около 108 В/м. Это подтверждается тем, что при ртутном дуговом разряде светящееся катодное пятно представляет собой не свечение поверхности ртути, а свечение газа над поверхностью ртути. Температура ртути непосредственно под пятном не превышает 200 C.

Распределение потенциала в дуговом разряде Распределение потенциала в дуговом разряде

Катодное падение потенциала В дуговом разряде непосредственно перед катодом имеется участок катодного падения потенциала. Катодное падение потенциала В дуговом разряде непосредственно перед катодом имеется участок катодного падения потенциала. Ширина этого участка соизмерима со средней длиной свободного пробега электрона. Величина катодного падения потенциала в дуговом разряде много меньше, чем в тлеющем, она близка к потенциалу ионизации газа, которым наполнен прибор

Катодное падение потенциала Возможность горения разряда при таком малом Uк обусловлена тем, что, во-первых, Катодное падение потенциала Возможность горения разряда при таком малом Uк обусловлена тем, что, во-первых, уменьшение протяжённости области катодного падения способствует поддержанию около катода значительного падения потенциала и, во-вторых, для поддержания высокой температуры пятна важна не энергия каждого иона в отдельности, а суммарная энергия всех ионов, приходящих на катод. Плотность энергии оказывается большой, так как ток дугового разряда велик.

Положительный столб дуги Столб дугового разряда, примыкающий к участку катодного падения потенциала, качественно аналогичен Положительный столб дуги Столб дугового разряда, примыкающий к участку катодного падения потенциала, качественно аналогичен столбу тлеющего разряда. Количественные отличия связаны с тем, что плотность тока в дуге значительно больше, чем в тлеющем разряде.

ВАХ дугового разряда Вольт-амперная характеристика дуги является падающей. Обычно связь между током и напряжением ВАХ дугового разряда Вольт-амперная характеристика дуги является падающей. Обычно связь между током и напряжением в дуге выражается эмпирической формулой Айртон: где U - напряжение между электродами; I сила тока; L- длина дуги; a, b, c и d постоянные, зависящие от давления газа и от от размеров и формы электродов.

ВАХ дугового разряда ВАХ дугового разряда

Применения дугового разряда l Источники света (дуговые ртутные лампы для освещения улиц, площадей и Применения дугового разряда l Источники света (дуговые ртутные лампы для освещения улиц, площадей и т. д. ). l Дуговые плазмотроны. l Дуговые лазеры. l Плазменно-дуговые напылительные установки l Сварка и резка металлов

Применение дугового разряда Для наружного и промышленного освещения широко применяются ртутно-кварцевые лампы высокого давления Применение дугового разряда Для наружного и промышленного освещения широко применяются ртутно-кварцевые лампы высокого давления с исправленной цветностью (ДРЛ). Применение ртути связано с большим выходом ультафиолетового излучения, которое затем преобразуется в видимое с помощью люминофора. В настоящее время разработаны дуговые ламы с парами металлов, в частности редкоземельных элементов, обладающие улучшенной цветопередачей.

Дуговая ртутная лампа l Лампа ДРЛ имеет следующее строение: стеклянный баллон 1, снабжённый резьбовым Дуговая ртутная лампа l Лампа ДРЛ имеет следующее строение: стеклянный баллон 1, снабжённый резьбовым цоколем 2. В центре баллона укреплена кварцевая горелка (трубка) 3, заполненная аргоном с добавкой капли ртути. Четырёхэлектродные лампы имеют главные катоды 4 и дополнительные электроды 5, расположенные рядом с главными катодами и подключенные к катоду через добавочный угольный резистор 6.

Дуговая ртутная лампа l ДРЛ на стенде Дуговая ртутная лампа l ДРЛ на стенде

Применение дугового разряда Еще одной областью применения дугового разряда является плазменно-дуговое нанесение покрытий в Применение дугового разряда Еще одной областью применения дугового разряда является плазменно-дуговое нанесение покрытий в условиях массового производства. В качестве примеров здесь можно привести нанесение упрочняющих покрытий на металлообрабатывающий инструмент и декоративных покрытий на товары народного потребления.

Искровой разряд l Искровой разряд возникает при высоком давлении и высоковольтном, но маломощном источнике Искровой разряд l Искровой разряд возникает при высоком давлении и высоковольтном, но маломощном источнике питания. l для искрового разряда характерны высокая температура газа (до 10000 К) и яркое свечение, а так же характерные звуковые эффекты.

Искровой разряд молния Искровой разряд молния

Искровой разряд, в отличии от других видов разряда, является прерывистым даже при пользовании источником Искровой разряд, в отличии от других видов разряда, является прерывистым даже при пользовании источником постоянного напряжения. По внешнему виду искровой разряд представляет собой пучок ярких зигзагообразных полос, постоянно сменяющих одна другую.

Искровой разряд Потенциал зажигания искрового разряда весьма высок. Однако, когда промежуток уже пробит, сопротивление Искровой разряд Потенциал зажигания искрового разряда весьма высок. Однако, когда промежуток уже пробит, сопротивление его резко уменьшается, и через промежуток проходит значительный ток. Если мощность источника мала, то разряд гаснет. После этого напряжение на разрядном промежутке снова возрастает и разряд вновь может зажечься.

На основе многочисленных наблюдений над искровым разрядом в 1940 году Мик и независимо от На основе многочисленных наблюдений над искровым разрядом в 1940 году Мик и независимо от него Ретер выдвинули новую теорию искрового разряда, которая в дальнейшем получила название стримерной. Стример - это область газа с высокой степенью ионизации, распространяющаяся в направлении катода (положительный стример) или в направлении анода (отрицательный стример). Стримерная теория представляет собой теорию однолавинного пробоя.

Для возникновения стримера необходимо соблюдение двух основных условий: 1) Поле лавины и поле, созданное Для возникновения стримера необходимо соблюдение двух основных условий: 1) Поле лавины и поле, созданное приложенным к электродам напряжением, должны находиться в определённом соотношении. 2) Фронт лавины должен излучать достаточное количество фотонов для поддержания и развития стримера. При большой мощности источника искровой разряд переходит в дуговой.

Искровой разряд Если между электродами находится какое-нибудь препятствие, то искра пробивает его, образуя более Искровой разряд Если между электродами находится какое-нибудь препятствие, то искра пробивает его, образуя более или менее узкое отверстие. Установлено, что температура газа в канале искры может возрастать до очень больших значений (10000 -12000 К). Образование областей высокого давления и их передвижение в газе носят взрывной характер и сопровождаются звуковыми эффектами. Это может быть слабое потрескивание (при незначительных избыточных давлениях) или гром.

Искровой разряд К искровым разрядам относится и молния. В этом случае одним электродом является Искровой разряд К искровым разрядам относится и молния. В этом случае одним электродом является облако, а другим - земля. Напряжение в молнии достигает миллионов вольт, а ток - до сотни килоампер. Переносимый молнией заряд обычно составляет 10 -30 кулон, а в отдельных случаях достигает 300 кулон.

Естественные электрические разряды в воздухе - молнии. Естественные электрические разряды в воздухе - молнии.

Скользящий разряд Особым видом искрового разряда является скользящий разряд, происходящий вдоль поверхности раздела какого-либо Скользящий разряд Особым видом искрового разряда является скользящий разряд, происходящий вдоль поверхности раздела какого-либо твёрдого диэлектрика и газа вокруг металлического электрода (острия), касающегося этой поверхности. На этом принципе основаны приборы для измерения очень высоких напряжений - клинодографы.

Причудливые фигуры из искровых разрядов Причудливые фигуры из искровых разрядов

Применение искрового разряда l Точечная сварка и резка металлов. l Пробивка микроотверстий в искусственных Применение искрового разряда l Точечная сварка и резка металлов. l Пробивка микроотверстий в искусственных кожах и пленочных материалах. l Поиск течей в стеклянных вакуумных системах. l Источник «белого шума» .

Коронный разряд Корона возникает при сравнительно высоких давлениях в тех случаях, когда поле в Коронный разряд Корона возникает при сравнительно высоких давлениях в тех случаях, когда поле в разрядном промежутке неравномерно из-за малого радиуса кривизны одного из электродов. Начальная напряжённость поля короны зависит от радиуса электрода и давления газа. Формула Пика: , к. В/см 2 r 0 - радиус коронирующего электрода - плотность воздуха при нормальных условиях

Коронный разряд Коронный разряд

Коронный разряд Ионизация и свечение газа происходят в сравнительно узком слое около этого электрода. Коронный разряд Ионизация и свечение газа происходят в сравнительно узком слое около этого электрода. Этот слой называется коронирующим. Во внешней области разряда ток переносится частицами только одного знака. Ток коронного разряда ограничивается сопротивлением несветящейся области. При увеличении напряжения между электродами размеры светящегося слоя короны и его яркость увеличиваются.

Коронный разряд Когда светящаяся область достигает другого электрода, разряд переходит в искровой. Поэтому коронный Коронный разряд Когда светящаяся область достигает другого электрода, разряд переходит в искровой. Поэтому коронный разряд называют незавершенным пробоем разрядного промежутка. В настоящее время для описания короны используют в основном теорию лавин, хотя ряд явлений связан с образованием стримеров.

Применение коронного разряда Коронный разряд применяется l в счетчиках ионизирующих излучений (счетчики Гейгера – Применение коронного разряда Коронный разряд применяется l в счетчиках ионизирующих излучений (счетчики Гейгера – Мюллера); l в установках пылеочистки; l в озонаторах.

Счетчик Гейгера-Мюллера Счетчик Гейгера-Мюллера

Коронный разряд Корона в виде факела Коронный разряд Корона в виде факела

Высокочастотные разряды В общем случае газовый разряд может возбуждаться с помощью постоянных или переменных Высокочастотные разряды В общем случае газовый разряд может возбуждаться с помощью постоянных или переменных электрических полей. Очень широкое распространение в современной технике и технологии получили высокочастотные (ВЧ) разряды, возбуждаемые электромагнитными полями мегагерцового диапазона частот.

Существует два способа создания ВЧ разряда – индукционный и емкостной. При индукционном способе разрядную Существует два способа создания ВЧ разряда – индукционный и емкостной. При индукционном способе разрядную трубку помещают в катушку (соленоид) с током высокой частоты. Индуцируемое внутри катушки вихревое электрическое поле и поддерживает разряд. При емкостном способе (ВЧЕ-разряд) высокочастотное напряжение подают на электроды, образующие своего рода конденсатор. Электроды могут находиться в непосредственном контакте с плазмой или могут быть вынесены за ее пределы и отделяться от плазмы диэлектрическими стенками (безэлектродный разряд).

ВЧ разряды ВЧ разряд с емкостным возбуждением (внешние электроды) 2 1 3 ~ ВЧ разряды ВЧ разряд с емкостным возбуждением (внешние электроды) 2 1 3 ~

ВЧ разряды l ВЧ разряд с емкостным возбуждением (внутренние электроды) 1 2 3 ~ ВЧ разряды l ВЧ разряд с емкостным возбуждением (внутренние электроды) 1 2 3 ~

ВЧ разряды ВЧ разряд с индукционным возбуждением 2 1 3 ~ ВЧ разряды ВЧ разряд с индукционным возбуждением 2 1 3 ~

ВЧ разряды Колеблющиеся в ВЧ поле электроны могут приобретать энергию, достаточную для осуществления ионизации ВЧ разряды Колеблющиеся в ВЧ поле электроны могут приобретать энергию, достаточную для осуществления ионизации и поддержания разряда. Катодная область, как источник электронов, фактически оказывается не нужной. Напряжения пробоя снижаются, а разряд может гореть и с электрически изолированными от плазмы электродами. Эти соображения также обусловливают тот факт, что ВЧ разряд может устойчиво гореть при более низких давлениях, чем разряд постоянного тока.

ВЧ разряд в неоне ВЧ разряд в неоне

Применение ВЧ разрядов l Плазма ВЧ разряда находит широкое применение в технологии микроэлектроники проведении Применение ВЧ разрядов l Плазма ВЧ разряда находит широкое применение в технологии микроэлектроники проведении процессов нанесения покрытий, травления материалов и модификации поверхности. Существование нескольких способов возбуждения ВЧ разряда обуславливает существование нескольких типов плазмохимических ВЧ реакторов;

Плазмохимический реактор с внутренними плоскими электродами Плазмохимический реактор с внутренними плоскими электродами

Реактор с индуктивным возбуждением Реактор с индуктивным возбуждением

Применение ВЧ разрядов Области применения ВЧ разрядов l Спектральные лампы; l Источники питания лазеров; Применение ВЧ разрядов Области применения ВЧ разрядов l Спектральные лампы; l Источники питания лазеров; l Технологические плазмохимические установки.

Разряды на сверхвысоких частотах Сверхвысокочастотные разряды возбуждаются в диапазоне частот от 1 до 300 Разряды на сверхвысоких частотах Сверхвысокочастотные разряды возбуждаются в диапазоне частот от 1 до 300 ГГц (длина волны 30 см – 3 мм). В промышленности наиболее часто используются частоты 0, 915 и 2, 45 ГГц. СВЧ разряды могут существовать в широком диапазоне давлений. В отсутствии магнитного поля этот диапазон составляет от 1 до 105 Па. Наложение внешнего магнитного поля (режим электронного циклотронного резонанса) позволяет существенно продвинуться в область низких давлений – до 10 -4 Па.

СВЧ разряд возбуждается при помещении трубки с рабочим газом в полость резонатора или при СВЧ разряд возбуждается при помещении трубки с рабочим газом в полость резонатора или при введении резонатора в реактор. реагенты кварцевая трубка охлаждение волновод конический резонатор охлаждение плазма продукт Плазменный реактор с СВЧ-резонатором в зоне плазмы.

Для получения плазмы в достаточно большом объеме СВЧ мощность вводится в реактор через специальное Для получения плазмы в достаточно большом объеме СВЧ мощность вводится в реактор через специальное вакуумное окно. Плазменный реактор большого объема с вводом СВЧ-излучения через окно

Разрядники антенных переключателей Схема РЛС с резонансным разрядником: Разрядники антенных переключателей Схема РЛС с резонансным разрядником:

Требования к разрядникам: 1. Зажигание разряда должно происходить за время порядка 10 -8 сек, Требования к разрядникам: 1. Зажигание разряда должно происходить за время порядка 10 -8 сек, чтобы за время его формирования на детектор не попало избыточное количество энергии. 2. После прохождения импульса разряд должен быстро (примерно за 10 -6 сек) прекратиться. 3. Потери мощности в самих разрядниках должны быть малыми. 4. Желательно, чтобы разрядник имел широкую полосу пропускания.

Тестовые задания Первый коэффициент Таунсенда - это число актов ионизации, производимых одним электроном l Тестовые задания Первый коэффициент Таунсенда - это число актов ионизации, производимых одним электроном l в единицу времени l на единице пути l на длине свободного пробега l за время перемещения от катода к аноду

Тестовые задания Условие перехода разряда из несамостоятельного в самостоятельный имеет вид: Тестовые задания Условие перехода разряда из несамостоятельного в самостоятельный имеет вид:

Тестовые задания Напряжение зажигания самостоятельного разряда зависит от произведения l давления газа на диаметр Тестовые задания Напряжение зажигания самостоятельного разряда зависит от произведения l давления газа на диаметр разрядной трубки l давления газа на расстояние между электродами l давления газа на ширину катодного падения потенциала

Тестовые задания Кривая Пашена имеет вид: l 1) кривой с минимумом l 2) кривой Тестовые задания Кривая Пашена имеет вид: l 1) кривой с минимумом l 2) кривой с максимумом l 3) монотонно возрастающей кривой l 4) монотонно спадающей кривой

Тестовые задания В правой ветви кривой Пашена основную роль играет l уменьшение средней энергии Тестовые задания В правой ветви кривой Пашена основную роль играет l уменьшение средней энергии электронов при увеличении частоты столкновений электронов с тяжёлыми частицами l увеличение вероятности ионизации при увеличении частоты столкновений электронов с тяжёлыми частицами l уменьшение вероятности ионизации при увеличении частоты столкновений электронов с тяжёлыми частицами

Тестовые задания Величина напряжения зажигания самостоятельного разряда зависит l только от природы газа l Тестовые задания Величина напряжения зажигания самостоятельного разряда зависит l только от природы газа l только от материала электродов l и от природы газа, и от материала электродов

Тестовые задания Тлеющий разряд возникает l при высоких давлениях и малой мощности источника питания Тестовые задания Тлеющий разряд возникает l при высоких давлениях и малой мощности источника питания l при средних давлениях и средней мощности источника питания l при высоких давлениях и мощном источнике питания l при наличии системы электродов с резко отличающимися радиусами кривизны

Тестовые задания Дуговой разряд имеет вид l чередующихся тёмных и светлых полос l зигзагообразных Тестовые задания Дуговой разряд имеет вид l чередующихся тёмных и светлых полос l зигзагообразных линий и полос l яркого светящегося пятна l свечения возле электрода с малым радиусом кривизны

Тестовые задания Для существования тлеющего разряда жизненно необходимы l анодные области l положительный столб Тестовые задания Для существования тлеющего разряда жизненно необходимы l анодные области l положительный столб l катодные области l все вышеупомянутые

Тестовые задания В нормальном тлеющем разряде величина катодного падения потенциала с ростом тока l Тестовые задания В нормальном тлеющем разряде величина катодного падения потенциала с ростом тока l уменьшается l остаётся неизменной l растёт l проходит через максимум

Тестовые задания В нормальном тлеющем разряде плотность тока с катода с ростом тока l Тестовые задания В нормальном тлеющем разряде плотность тока с катода с ростом тока l уменьшается l остаётся неизменной l растёт l проходит через максимум

Тестовые задания Напряжение горения дугового разряда составляет l десятки вольт l сотни вольт l Тестовые задания Напряжение горения дугового разряда составляет l десятки вольт l сотни вольт l тысячи вольт

Тестовые задания Искровой разряд имеет прерывистый характер, так как возникает l при высоких давлениях Тестовые задания Искровой разряд имеет прерывистый характер, так как возникает l при высоких давлениях l при наличии маломощного источника питания l при резко отличающихся радиусах кривизны электродов

Тестовые задания В люминесцентных лампах для освещения помещений используется l искровой разряд l коронный Тестовые задания В люминесцентных лампах для освещения помещений используется l искровой разряд l коронный разряд l тлеющий разряд l дуговой разряд

Тестовые задания Ртуть вводится в состав газового наполнения люминесцентных ламп, так как она l Тестовые задания Ртуть вводится в состав газового наполнения люминесцентных ламп, так как она l даёт мощное излучение в инфракрасной области спектра l даёт мощное излучение в видимой области спектра l даёт мощное излучение в ультрафиолетовой области спектра l понижает напряжение зажигания разряда