Объёмные насосы осуществляют откачку за счёт периодического изменения объёма рабочей камеры. В основном они используются для получения предварительного разрежения. К ним относятся поршневые, жидкостно-кольцевые, ротационные (вращательные). Наибольшее распространение в вакуумной технике получили вращательные насосы. Схема ротационного насоса: 1, 3 - лопасти, 2 - кожух. К высоковакуумным механическим насосам относятся: пароструйные насосы (парортутные и паромасляные), турбомолекулярные насосы. Молекулярные насосы осуществляют откачку за счёт передачи молекулам газа количества движения от твёрдой, жидкой или парообразной быстродвижущейся поверхности. К ним относятся водоструйные, эжекторные, диффузионные молекулярные насосы с одинаковым направлением движения откачивающей поверхности и молекул газа и турбомолекулярные насосы с взаимно перпендикулярным движением твёрдых поверхностей и откачиваемого газа.
Вакуумные насосы классифицируют как по типу вакуума, так и по устройству. Область давлений, с которой имеет деловакуумная техника, охватывает диапазон от 105 до 10− 12 Па. Степень вакуума характеризуется коэффициентом Кнудсена , величина которого определяется отношением средней длины свободного пробега молекул газа к линейному эффективному размеру вакуумного элемента Lэф. Эффективными размерами могут быть расстояние между стенками вакуумной камеры, диаметр вакуумного трубопровода, расстояние между электродами прибора. • Низкий вакуум λ << Lэф Kn ≤ 5· 10− 3 Давление 105… 102 Па (103… 100 мм рт. ст. ) • Средний вакуум λ ≥ Lэф 5· 10− 3 < Kn < 1. 5 Давление 102… 10− 1 Па (100… 10− 3 мм рт. ст. ) • Высокий вакуум λ > Lэф Kn ≥ 1. 5 Давление 10− 1… 10− 5 Па (10− 3… 10− 7 мм рт. ст. ) • Сверхвысокий вакуум λ >> Lэф Kn >> 1. 5 Давление 10− 5 Па и ниже (10− 7… 10− 11 мм рт. ст. )
Турбомолекулярный насос — один из видов вакуумных насосов, служащий для создания и поддержки высокого вакуума. Действие турбомолекулярного насоса основано на сообщении молекулам откачиваемого газа дополнительной скорости в направлении откачки вращающимся ротором. Ротор состоит из системы дисков. Вакуум, создаваемый турбомолекулярным насосом, до 10− 8 Па (10− 10 мм рт. ст. ). Скорость вращения ротора — десятки тысяч оборотов в минуту. Для работы требует применения форвакуумного насоса. • [править]Описание Турбомолекулярные насосы (ТМН) позволяют получать средний, высокий и сверхвысокий вакуум с остаточными газами, молекулярная масса которых меньше 44. ТМН представляет собой многоступенчатый осевой компрессор, роторные и статорные ступени которого снабжены плоскими наклонными вдоль радиуса лопатками. При вращении роторных ступеней с высокой скоростью происходит откачка молекул газа из-за их различной вероятности перехода через наклонные каналы ступеней в прямом и обратном направлениях. ТМН рассчитан на работу в условиях молекулярного режима течения газа. Для обеспечения работоспособности ТМН необходимо обеспечить на выходе из его последней ступени молекулярный режим течения газа любым насосом предварительного разрежения (форвакуумным насосом) с выхлопом в атмосферу. Молекулярный насос (МН) состоит из молекулярных ступеней, установленных на одном роторе. Для обеспечения его работоспособности возможно применение форвакуумного насоса (в зависимости от конструкций ступеней МН). Гибридный ТМН (ГТМН) содержит первые ступени от турбомолекулярного насоса, а последние ступени от молекулярного насоса. Роторные ступени ГТМН закреплены на общем валу. Назначение молекулярных ступеней — обеспечить нормальную работу последним ступеням ТМН при повышении давления на входе в ТМН, а также возможность применения более дешёвых одноступенчатых форвакуумных насосов с большим предельным давлением. Содержание [убрать] • 1 Описание • 2 Скорость откачки [править]Скорость откачки • 3 Номинальная потребляемая мощность • 4 Коэффициент компрессии • 5 Предельное остаточное давление • 6 Подшипниковый узел и система подвески • 7 Контроллер
Скачать презентацию Объёмные насосы осуществляют откачку за счёт периодического изменения
вакуум.pptx