Многослойные резисты Электронорезисты Рентгенорезисты Подготовила ст группы МФЭ-12

Многослойные резисты. Электронорезисты. Рентгенорезисты. Подготовила ст. группы МФЭ-12 Кузмичева М. С.

Резисты — органические материалы, чувствительные к воздействию какого-либо излучения: оптического (фоторезисты), рентгеновского (рентгенорезисты), потока электронов или иного (электроно- или ионорезисты). Применяют в литографии для формирования заданного рельефного рисунка на поверхности печатной формы и ее защиты от воздействия травителей.

Многослойные резисты Состоят из нескольких слоев различного резиста, каждый из которых выполняет свою функцию, например, планаризация топологии поверхности; повышение маска при травлении; увеличение разрешающей способности; поглощение отраженных от поверхности подложки рассеянных лучей и т. д.

Литография с многослойным резистом при различных обработках планаризационного слоя 1 — чувствительный слой; 2 — промежуточный слой (для трехслойной системы); 3 — планаризационный слой; 4 — элемент рельефа подложки.

Схема литографического процесса с двойным резистом разной полярности

Основные стадии применения LOR резистов LOR резист подложка фоторезист металл

Электронорезист – это резист, изменяющий свои физикохимические свойства под воздействием ускоренных электронов. Рентгенорезист – это резист, изменяющий свои физикохимические свойства под воздействием рентгеновского излучения.

Спасибо за внимание!