Скачать презентацию Металлизация АЛЮМИНИЙ Дефекты Al — металлизации
Металлизация 1.pptx
- Количество слайдов: 109
Металлизация
АЛЮМИНИЙ
Дефекты Al - металлизации
Дефекты металлизации
Алюминий
ЗОЛОТО
СЕРЕБРО
Хром и титан
Диффузионно- барьерный слой
Формирование ДБС и КС
Реакционное разделение фаз
Типы ДБС
Алюминий с ДБС
Слабопроникающие контакты ИС
Взаимодействие осаждаемых частиц с подложкой
Механизмы роста пленок
Схема планетарной системы вращения подложек
Подложкодержатели
а – термоэмиссия, б – ускорение электронов, в - формирование электронного луча
Суть метода
Источники магнитного поля
Магратроны – источники магнетронного распыления
«Оратория»
Что и как напыляют на «Оратории»
Установка «Магна»
Контроль адгезии
Контроль толщины
Контроль толщины
Неравномерность толщины
Контроль сопротивления
Спасибо за внимание!