Лекция 8 ВАКУУММЕТРИЯ ТЕХНИКА ЗАМЕРА ВАКУУМА Р

Лекция 8 ВАКУУММЕТРИЯ (ТЕХНИКА ЗАМЕРА ВАКУУМА) Р = Ратм - жидкg h 1 для открытого и Р = - жидкg h 2 для закрытого колена, где жидк, – плотность рабочей жидкости, кг/ м 3; g=9, 81 м/с2 – ускорение свободного падения; h – перепад высот в метрах. Основы вакуумной техники 1

Лекция 8 ВАКУУММЕТРИЯ (ТЕХНИКА ЗАМЕРА ВАКУУМА) Компрессионный вакуумметр Мак. Леода Основы вакуумной техники 2

Лекция 8 ВАКУУММЕТРИЯ (ТЕХНИКА ЗАМЕРА ВАКУУМА) Р = Ратм·(1 – n/N) Вакуумметры: а) трубчатый, б) сильфонный, в) мембранный (механический) Основы вакуумной техники 3

Лекция 8 ВАКУУММЕТРИЯ (ТЕХНИКА ЗАМЕРА ВАКУУМА) Ёмкостные вакуумметры: а-б) схемы, в) датчик Cerami. Cel VCFMT с температурной компенсацией (Varian) Основы вакуумной техники 4

Лекция 8 ВАКУУММЕТРИЯ (ТЕХНИКА ЗАМЕРА ВАКУУМА) Маркировка: ОМ 6 и ОМ 7 – оптические, с пределами от 013 до 0 -5· 105 Па; ВДГ-1 (стрелочный) – механический; ИКД 6 ТДа – измерительный комплекс давления (индукционный) с диапазонами 13 -1300 и 13 -105 Па, погрешность измерения ± 1, 5 -3%; «Сапфир 22 ДА» – тензометрический, с преобразованием давления в токовый сигнал диапазона 0 -20 м. А. Тензодатчик наклеен на мембрану из сапфира. ВД-1(цифровой - 10 В) и, ПДД 1 -10 А (аналоговый - 10 В), РДД -1 (с регулировкой порога срабатывания), «BARATRON 170» (США), Cerami. Cel VCMH и VCFMT (Varian, ) – ёмкостные. Характеристики: точность датчиков составляет от 0, 12% до 1, 5%. Диапазон измерений 105 -10 -4 Па. Основные производители в России и СНГ: нет данных. Основные производители за рубежом: Baratron (США), Setra Systems Inc (США), Varian. Основы вакуумной техники 5

Лекция 8 ВАКУУММЕТРИЯ (ТЕХНИКА ЗАМЕРА ВАКУУМА) Тепловые манометры: а-б) схемы измерения, в) термопарный датчик 531 -536 (Varian, ), г) терморезисторный датчик ВТ 100 (Varian, ) Основы вакуумной техники 6

Лекция 8 ВАКУУММЕТРИЯ (ТЕХНИКА ЗАМЕРА ВАКУУМА) Рг = Рвоздуха/q Датчики вакуума, Россия: вверху и в центре термопарные ПМТ 2 и ПМТ-4; внизу терморезисторный ПМТ 6 -3 Основы вакуумной техники 7

Лекция 8 ВАКУУММЕТРИЯ (ТЕХНИКА ЗАМЕРА ВАКУУМА) Обозначение: термопарные – ПМТ-2 (платина+ХК), ПМТ-4 М (нихром+ХА) – преобразователь манометрический термопарный; ПДТ-8 (ПДТ-9) (полупроводниковый) – преобразователь диодный термопарный. 531 и 536 (Вариан) терморезисторные – ПМТ-6 -3 (Ф, НХ, Р, М, С), ПМТ-16 – преобразователь манометрический терморезисторный; РВТ-1 М (2 М, 3) – резисторный вакуумный тепловой; МТ 12 -П (Н)-2 – манометр тепловой, П – нагреватель платиновый, Н – нихромовый, ВТ 100 (Varian) Характеристики: Тепловые вакуумметры измеряют полное давление в диапазоне 104 -10 -2 Па. На точность измерения оказывают влияние длина и диаметр нити, её загрязненность маслом и продуктами деструкции органики, температура корпуса – то есть эти приборы нельзя назвать высокоточными. Инерционность тепловых манометров в режиме постоянного тока – 2 -4 сек, в режиме постоянной температуры – 0, 05 -0, 10 сек. По мере снижения давления инерционность возрастает. Погрешность термопарных датчиков – 15 -30%, терморезисторных -30…+50%. Аналоговый сигнал с датчиков подается на вакуумметры ВТ-2 А (3, 6, 12 М), ВИТ-2 А (3), контроллеры 801, 810, Multi-Gauge, Sen. Torr – для термопарных датчиков; ВТБ-1 (6), ВТЦ-1, РВТ 1 М (2 М) WV 100 -2 и HV 100 -2 (Varian)– для терморезисторных датчиков. Основные производители в России и СНГ: нет данных. Основные производители за рубежом: Varian, BOC Edwards, MSI, Thyracont (Германия), Granville-Phillips (Франция), KVS (Корея). Основы вакуумной техники 8

Лекция 8 ВАКУУММЕТРИЯ (ТЕХНИКА ЗАМЕРА ВАКУУМА) Ионизационный вакуумметр: слева - схема; в центре открытый и закрытый ионизационные датчики Байарда-Альперта производства «Varian» , справа датчик ПМИ 10 -2, и датчик ПМИ-2, Россия Основы вакуумной техники 9

Лекция 8 ВАКУУММЕТРИЯ (ТЕХНИКА ЗАМЕРА ВАКУУМА) Обозначение: ПМИ-2 (вольфрамовый катод), ПМИ 10 -2 (иридиевый катод), серия ПМИ (3 -2, 12 -8, 27, 39 -2, 51, 55) – с ростом цифры возрастает чувствительность. Зарубежные: IR, IE, IMG (), JBA II V и II I ( «RIBER» , Франция), Bayard-Alpert 563 (564, 571, 572, 580, UHV 24) ( «Varian) Измерительные блоки ВИТ-2(3), ВИ-12(14), ВИБ, ВИЦБ, 13 ВТ 3 -003 (цифровые), Мерадат-ВТ 12 СТ 2 (ПМТ 2, ПМТ-4, ПМТ-6 -3) и Мерадат-ВИТ 19 ИТ 1 (ПМТ 2, ПМТ-4, ПМТ-6 -3 и ПМИ-2 и ПМИ-10 -2) – электронные. Приборы «Мерадат» выпускаются пермской фирмой «Системы контроля» . IONIVAK, IMG (США), Sen. Torr и Multi-Gauge (Varian) Характеристики: диапазон измерений 102 -10 -11 Па, в верхнем диапазоне давлений работают датчики с катодами из металлов платиновой группы, ресурс вольфрамового катода зависит от давления и составляет 7, 5 часа при давлении 10 -1 Па, 75 часов при 10 -2 Па и 750 часов - при 10 -3 Па. Основные производители в России и СНГ: выпуск прекращен в 1989 г, возобновлен недавно (датчики). Основные производители за рубежом: Varian, RIBER, MSI, . Granville-Phillips, BOC Edwards, KVS (Корея). Основы вакуумной техники 10

Лекция 8 ВАКУУММЕТРИЯ (ТЕХНИКА ЗАМЕРА ВАКУУМА) Магнитные электроразрядные вакуумметры: слева Пеннинга; в центре - магнетронный; справа - датчики 524 -2 F(вверху) и 525 (внизу) (Varian) Основы вакуумной техники 11

Лекция 8 ВАКУУММЕТРИЯ (ТЕХНИКА ЗАМЕРА ВАКУУМА) Магнитные электроразрядные вакуумметры: слева - ПММ-32; справа - ПММ-46 Основы вакуумной техники 12

Лекция 8 ВАКУУММЕТРИЯ (ТЕХНИКА ЗАМЕРА ВАКУУМА) Сила ионного тока, определяющая измеряемое давление: Ii = S·Рn где Ii - величина ионного тока, S·- абсолютная чувствительность датчика, n – коэффициент, характеризующий тип преобразователя (0, 9… 1, 7) Достоинства: большой срок службы ввиду отсутствия элементов с высокой температурой, небольшая мощность, что позволяет использовать эти датчики в криогенных системах. Обозначение: датчики ПММ-22(28, 32, 38, 42, 44, 46) – рост цифры - рост глубины измеряемого вакуума, 524 -2 F. 525 (Varian); измерительные блоки РВМ-1 М, ВМБ-8 (10 -12, 14, 16), ВЭМБ-1, ВМЦБ-12, ВТИ-1; 860 -2, Sen. Torr и Multi-Gauge (Varian) Характеристики: диапазон измеряемых давлений 102 -10 -12 Па. Основные производители в России и СНГ: нет данных. Основные производители за рубежом: Varian, Televac (США), Granville-Phillips, BOC Edwards, KVS (Корея). Основы вакуумной техники 13

Лекция 8 ВАКУУММЕТРИЯ (ТЕХНИКА ЗАМЕРА ВАКУУМА) Основы вакуумной техники 14

Лекция 8 ВАКУУММЕТРИЯ (ТЕХНИКА ЗАМЕРА ВАКУУМА) Основы вакуумной техники 15