Лекция 5 Формирование карманов КМОП интегральных схем

Лекция 5 Формирование карманов КМОП интегральных схем

Карманы в КМОП структуре [ 1 ]

Влияние температуры и среды на перераспределение примеси при окислении кремния N Коэффициент сегрегации (N в кремнии/N в оксиде) Доноры N 0 Акцепторы (бор) Оксид кремний 1017 см-3 ДА Нет Инверсный канал X

Самосовмещение охранных областей при формировании ретроградного кармана Инверсный канал 1018 1017 p Ионная имплантация бора Латеральная диффузия бора Самосовмещенная структура Охранная область

Карманы в КМОП структуре В случае двух карманов охранные области не нужны!! [ 1 ]

КМОП структура с тремя карманами [ 3 ]

Дополнительные распределения примеси в диффузионном кармане Диффузионный карман Глубина Подгонка порогового напряжения Глубина Предотвращение смыкания ОПЗ Глубина [ 4 ]

Зависимость подвижности носителей от температуры и электрического поля

Влияние концентрации примеси и температуры на подвижность носителей

Различные виды распределения примеси в кармане [ 4 ]

Карман с ретроградным распределением примеси Концентрация Глубина, мкм [ 4 ]

Зависимость подвижности носителей от концентрации примеси и величины электрического поля

ВАХ р. МОП транзистора для карманов разного типа 1 – ретроградный карман 2 – традиционный карман [ 6 ]

Зависимость тока утечки от длины канала

Зависимость длины канала, определяемой током утечки, от порогового напряжения Ток утечки 1 н. А/мкм ( : )

Эффект «защелкивания» в КМОП структуре [ 5 ]

Зависимость порогового напряжения МОПТ от концентрации примеси Поликремниевый n+ затвор Уровень легирования подложки, см -3 [ 4 ]

Зависимость пороговых напряжений МОПТ от дозы легирования Доза фосфора, имплантированного в n-карман Доза имплантированного бора * 1011, см-2 [ 4 ]

Дополнительное легирование кармана Подгонка порогового напряжения Формирование охранной области от смыкания ОПЗ [ 4 ]

Влияние дозы ионной имплантации примеси на напряжение смыкания ОПЗ истока-стока [ 7 ]

Зависимость уровня легирования области для предотвращения смыкания ОПЗ от технологического поколения Концентрация Технологические поколения нм [ 7 ]

Суперкрутой профиль распределения индия в ркармане Концентрация Высокая подвижность Большой ток насыщения Предотвращение смыкания ОПЗ Глубина [ 4 ]

Функции отдельных областей кармана п-типа Контроль порогового напряжения Предотвращения защёлки Контроль толщины канала Уменьшение токов утечки Емкость исток-сток Предотвращение смыкания ОПЗ исток-сток Стоп-канал Контроль горячих носителей [ 4 ]

Формирование карманов