Карта мастер-штампа Шайба с Т-сетками Обозначения: Количество вертикальных каналов: 2 шт. 5 шт. Ширина микроканала: 5 мкм 10 мкм Ширина выхода канала: 20 мкм 50 мкм Форма выхода канала: straight (s) – прямая rounded (r) - закругленная Расстояние между каналами (вертикальными и горизонтальными): 300 (для всех Т-сеток, кроме #7. 2) 200 Пример обозначения: 2. 10. 20. r (300) Два вертикальных канала Ширина всех каналов чипа 10 мкм Ширина выхода вертикального канала 20 мкм Расстояние между горизонтальными каналами Форма выхода вертикального канала закругленная
Карта мастер-штампа Шайба с Т-сетками Общий вид чипа с Т-сеткой: 2 канала 20 Ширина выхода 20 мкм 20 Скругленный выход (r) 2 каналов 50 Ширина выхода 50 мкм 50 Прямой выход (s)
Карта мастер-штампа Шайба с Т-сетками Т-сетки Код шайбы Обозначение Кол-во 1 2. 5. 20. s 3 2 2. 5. 50. s 2 3 2. 5. 20. r 1 4 2. 5. 50. r 1 5 2. 10. 20. s 3 6 2. 10. 50. s 1 7. 1 2. 10. 20. r (300) 3 7. 2 Т № на шайбе 2. 10. 20. r (200) 1 8 5. 5. 20. s 1 9 5. 5. 20. s 1 10 5. 5. 50. s 2 11 5. 5. 20. r 1 12 5. 5. 50. r 1 13 5. 10. 20. s 3 14 5. 10. 50. s 1 15 5. 10. 20. r 4 16 5. 10. 50. r 1
Карта мастер-штампа Шайба с Т-сетками Прочие чипы Код шайбы Обозначение Кол-во 13. 1 small_fish. h 10. in 10 2 13. 2 small_fish. h 10. in 20 2 7. 5 Т № на шайбе grid. h 10 2 Т 13. 1 Ширина узкого места h=10 мкм. Ширина входа обратного роста in=10 мкм Т 13. 2 Ширина узкого места h=10 мкм. Ширина входа обратного роста in=20 мкм Т 7. 5 Grid. 10 Стандартная сетка с шириной узкого места 10 мкм
Карта мастер-штампа Шайба с Т-сетками
Карта мастер-штампа Новая шайба Название канала и его сокращение Ширина канала (h) Вход обратного роста (in) Длина канала (l) Кол-во каналов (n) Камеры (ch) Тип каналов (t) Ширина камер (w) - 600 8 - - - - - xmas_old up ( 10 compare (com) 15+2 30 7 xmas_compare (xmax_com) 10 12 7 7 10 10 12 xmas_old (xmas_old) 20 8 0 1 600 16 2 3 7 fish_angle (fish_a) 10 - 600 8 - 12 7 fish_straight (fish_s) 7 10 10 8 0 1 16 2 3 600 12 angle (angle) 20 5 - 950 16 - - 3. 5 grid (grid) 5 0 1 7 lefeber (lf) 20 three_chambere d (3 ch) 10 mushroom (mush) 10 - - - 600 800 600*2 400 600 8 8*2 8 - - - fish_strai ght - middle down - Если ширина входа обр. роста не указана, по умолчанию она равна ширине узкого места. Если не указан тип структур в камере (ch), по умолчанию ch=0 (в камере нет разделителей)
Карта мастер-штампа Новая шайба Код № на шайб шай ы бе Обозначение Кол -во 1. 1 compare com. h 10 1 1. 2 compare com. h 30 1 1. 3 compare com. h(15+2) 1 2. 1 xmas_compar e xmas_com. h 7 1 2. 2 xmas_compar e xmas_com. h 10 1 2. 3 А Тип канала xmas_compar e xmas_com. h 12 1 3. 1 xmas_old. h 7 1 3. 2 xmas_old. h 10 1 3. 3 xmas_old. h 7. in 20 1 3. 4 xmas_old. h 10. ch 1 1 3. 5 xmas_old. h 7. ch 2 1 3. 6 xmas_old. h 7. n 16 1 3. 7 xmas_old. h 7. ch 3 1 3. 8 xmas_old. h 10. in 20 1 3. 9 xmas_old. h 12 in 20 1 3. 10 xmas_old. h 10. in 20. ch 1 1
Карта мастер-штампа Новая шайба Код шайбы № на шайбе Тип канала Обозначение Колво 4. 1 fish_angle. h 7 1 4. 2 fish_angle. h 10 1 4. 3 fish_angle. h 12 1 5. 1 fish_straight. h 10 1 5. 2 fish_straight. h 7 1 5. 3 fish_straight. h 7. in 20 1 5. 4 fish_straight. h 10. ch 1 1 5. 5 fish_straight. h 7. n 16 1 5. 6 fish_straight. h 10. ch 2 1 5. 7 fish_straight. h 10. ch 3 1 5. 8 fish_straight. h 10. i n 20 1 5. 9 fish_straight. h 12. i n 20 1 5. 10 fish_straight. h 10. i n 20. ch 1 1 6 angle. h 5. n 16 1 А
Карта мастер-штампа Новая шайба Код шайбы Тип канала Обозначение Колво 7. 1 grid. h(3. 5) 1 7. 2 grid. h 5 1 7. 3 grid. h 7 1 7. 4 grid. h 5. ch 2 1 8. 1 lefeber. l 600 1 8. 2 lefeber. l 800 1 9. 1 А № на шайбе three_cham bered 3 ch. h 10. xmas_old. up 1. m 1. down 1 1 9. 2 three_cham bered 3 ch. h 10. xmas_old. up 1. m 0. down 1 1 9. 3 three_cham bered 3 ch. h 10. fish_straight. up 1. m 1. down 1 1 9. 4 three_cham bered 3 ch. h 10. xmas_old. up 0. m 0. down 0 1 10. 1 mushroom mush. h 10. l 600 1 10. 2 mushroom mush. h 10. l 400 1
Карта мастер-штампа Новая шайба
Карта мастер-штампа Новая шайба compare xmas_old fish_angle fish_straight angle
Карта мастер-штампа Новая шайба lefeber grid three_chambered mushroom
Карта мастер-штампа Новая шайба Типы разделителей в камере 1 2 3
Скачать презентацию Карта мастер-штампа Шайба с Т-сетками Обозначения Количество вертикальных
Карта Шайбы 07_04-1.pptx