ИОННО - ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ
Для нанесения покрытий на поверхность обрабатывающего инструмента, деталей и узлов используются потоки ионов и плазмы, генерируемые в условиях вакуума или при атмосферном давлении.
Широкими возможностями для нанесения покрытий обладают вакуумные установки, содержащие дуговые испарители и распылительные магнетронные источники.
Методы нанесения защитных покрытий дуговым методом Высокая скорость образованию микрокапель магнетронным методом Прочный и гладкий слой Низкая скорость нанесения
. Вакуумные установки для нанесения покрытий
Плазменные источники с плоскими катодами Схема технологической установки для нанесения покрытий. 1, 2 - магнетроны с катодами из различных материалов, 3 - ионный источник для предварительной очистки образцов, 4 - резистивный нагреватель, 5 - карусельный механизм вращения образцов, 6 вакуумная камера, 7 - дверца для загрузки образцов, 8 - регулятор потока рабочего газа.
Плазменные источники коаксиального типа 1 - магнетрон с плоским катодом, 2 - коаксиальный магнетрон, 3 - держатель образцов, 4 - подложка для магнетрона с плоским катодом, 5 - цилиндрическая мишень (вкладыши подшипника), 6 - цилиндрическая вакуумная камера, 7 - диффузионный насос.
Для формирования слоя с заданными параметрами выбирают материал металлического катода и смесь реакционных газов (азот, метан, кислород) с аргоном, стабилизирующим газовый разряд. Нитриды, карбиды и бориды металлов Ti. N, Ti. C, Cr. N, Ti. BN, Ti. Si. N, Mo. С и др. характеризуются высокой твердостью.
Для нанесения трибологических покрытий на внутренние поверхности деталей необходимо использовать двухслойное покрытие с твердым внутренним и внешним антифрикционным слоем, который улучшает первоначальную приработку поверхностей.
внешний - антифрикционный слой из мягких металлов ОБРАЗЕЦ внутренний износостойкий слой внутренний - износостойкий слой (нитрид, карбид или борид металла), внешний антифрикционный слой из мягких металлов (Sn, Pb), слоистого соединения (Mo. S 2, WS 2, Mo. Se 2), графита или гексагонального нитрида бора
Сферы применения: Автомобилестроение. Авиастроительство. Строительство оборудования для освоения космоса. Строительство разных направлений Обработка деталей различного рода отраслей…
Вакуумное ионно-плазменное оборудование можно использовать также для нанесения коррозионностойких покрытий на внутренние поверхности втулок, трубопроводной арматуры, деталей машин и др. для увеличения их срока службы.
Спасибо за внимание!
Скачать презентацию ИОННО — ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ Для
Ионно- плазменная обработка материалов.pptx