Формирование PVD покрытий Механизмы зарождения Прямой захват атома

Формирование PVD покрытий: Механизмы зарождения Прямой захват атома Конденсир. фаза Десорбция Поступающий атом Зародыш крит. размера Диффузия Зарождение поверхностная Миграция Схематичная диаграмма, изображающая процессы зарождения покрытий на поверхности напыления

Формирование PVD покрытий: Механизмы роста зародышей А Б Островковый механизм Слоистый рост (Vollmer-Weber) (Frank-van der Merve) Г В Слоистоостровковый (Strasnski-Krastanov) Вертикальный рост

Формирование PVD покрытий: Механизмы роста покрытия

Формирование PVD покрытий

Зона 1 Zr. O 2 -8 wt% Y 2 O 3

Cr. N на Si. O 2, зона T Al на Si. O 2, зона III

a d Tsub=150 o. C Ubias=0 =0 200 nm b e Tsub=150 o. C Ubias=0 =0. 14 200 nm c f Tsub=150 o. C Ubias=-250 V =0. 14 200 nm Ti-Ca-C-N-O 200 nm Ti-Zr-C-N-O Зона II

Моделирование роста покрытий

Моделирование роста покрытий

Установка PVD

Установка PVD

Установка CVD

Установка CVD