ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ 1 Чувствительность определяется отношением сигнал шум

ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ

1. Чувствительность определяется отношением сигнал/шум и составляет – 10 -3 2. Латеральное разрешение – 30 нм 3. Разрешение по глубине определяется: а) – глубиной выхода оже-электронов б) – шероховатостью поверхности

1. Послойный анализ 2. Изучение сегрегации, в том числе радиационно-стимулированной

ХИМИЧЕСКИЕ СДВИГИ В ОЖЕ-СПЕКТРАХ

РЕНТГЕНОВСКИЙ МИКРОАНАЛИЗ

PIXE - ?

ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ -энергия связи электрона в образце, определяемая энергией электрона в атоме и взаимодействиями атома с др. атомами (хим. связью в молекуле и взаимодействием с атомами др. молекул). Величина электрона внутренней оболочки атома А в хим. соединении определяется эффективным зарядом ZA этого атома и электростатическим потенциалом U, создаваемым всеми другими атомами соединения:

ХИМИЧЕСКИЕ СДВИГИ В СПЕКТРАХ ФОТОЭЛЕКТРОНОВ