Электронная литография Лазерная литография Электронная литография ЭЛЛ

Электронная литография. Лазерная литография.

Электронная литография ЭЛЛ – непосредственное создание или проецированный перенос изображения с помощью пучка электронов Высокая производительность проекционная простота шаблоны ЭЛЛ Малая производительность сканирующая более сложная без шаблона (ЭВМ) 2

Сканирующая ЭЛ Рисунок 1 – Схема установки (генератор изображения) сканирующей ЭЛ 3

Способы обработки пластин в СЭЛ Рисунок 2 – Способы сканирования луча: а) растровый, б) векторный, в) лучом прямоугольного сечения 4

Проекционная ЭЛ – вид ЭЛЛ, передача топологического рисунка на слой резиста осуществляется путем проекции всего изображения с шаблона пучком электронов. Масштаб 1: 1 Проекционная ЭЛ Электронный проектор фотоэффект С уменьшенным изображением шаблон Кварцевая подложка с хромом и Pd или Cs. I 5

Проекционная ЭЛ Рисунок 3 – Принципиальная схема электронного проектора: 1, 2 - отклоняющая и фокусирующая катушки, 3 – УФ-излучение, 4 – фотокатод, 5 – пленка хрома, 6 - фотоэмиссионный слой, 7– электроны, 8 – подложкодержатель, 9 - подложка 6

Проекционная ЭЛ Рисунок 4 – Проекционная система с уменьшением изображения 7

Электронные резисты Негативные (#ПГМАКЭА) S, Кл/см 2 B, мкм Электронные резисты Позитивные (#ПММА, ПБС) γ 8

Электронные резисты Рисунок 5 – Траектория движения электронов в твердом теле 9

Электронная литография • Достоинства: 1) не требуется фотошаблон; 2) можно получать как топологию рисунка так и ФШ методом ЭЛЛ; 3) высокая автоматизация; 4) меньшее время кодирования чертежа для получения шаблона. • Недостатки: 1) малая производительность; 2) дороговизна оборудования. • Применение: 1) проведение исследований и разработок; 2) изготовление шаблонов; 3) формирование топологии рисунка на поверхности платин. 10

Лазерная литография (LDI) LDI – вид литографии, создающий растровый топологический рисунок на поверхности платы с помощью фокусированного лазерного луча, модулируемого управляющей системой CAD/CAM Рисунок 6 – Изготовление шаблона импульсным волоконным лазером и пробивка отверстий лазером YLP 11

Лазерная литография (LDI) • Достоинства: 1) экономия времени, отсутствие расходов на изготовление, использование, обработку и хранение ФШ ; 2) независимость топологической точности растрового рисунка от внешних условий; 3) большая управляемость процесса. • Недостатки: 1) относительно малая производительность; 2) невозможность получения тонких линий; 3) дороговизна оборудования. • Применение: 1) для изготовления промежуточных шаблонов; 2) голографические системы контроля и ретуши ФШ; 3) установки непосредственного экспонирования ФР. 12

Выводы • ЭЛЛ – вид литографии проецирование или сканирование топологии рисунка на пластину осуществляется с помощью фокусированного пучка электронов. • Лазерная литография – вид литографии, формирующий топологию изображения на платине с помощью луча лазера. • Как ЭЛЛ так и лазерная литографии на сегодняшний день являются перспективными методами формирования рисунка на пластине микроэлектронике в 13