Департамент «Физический факультет» ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ЭКЗАМЕН «ЛИТОГРАФИЯ В ОБЛАСТИ ГЛУБОКОГО УФ, РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ И ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ. ОСНОВНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ НАНОЛИТОГРАФИИ. » Докладчик: Дрягин Артем Игоревич
ПОТРЕБНОСТЬ В НАНОЛИТОГРАФИИ Закон Мура Наноэлектроника микропроцессоры (45, 32, 22, … нм) одноэлектронные транзисторы системы с углеродными наноэлементами нанодатчики, НЭМС Используемые методы устаревают размеры элементов уже меньше длины волны света использование технических приемов иммерсионная литография (λ = 193 нм) Экономическая выгода 2
ГЛУБОКИЙ УЛЬТРАФИОЛЕТ Область спектра 10 -100 нм Получаемое разрешение ~20 -30 нм Источники – плазма, синхротроны большие потери мощности на отражение (до 95%) высокая температура источника и плазмы Многослойные зеркала рассматриваемая длина волны 13, 5 нм высокая точность изготовления Необходим вакуум Отражающие фотошаблоны Ведутся активные исследования 3
РЕНТГЕНОВСКОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ Длина волны 0, 5 – 4, 0 нм Разрешающая способность 10 -20 нм Источники: малое влияние материала подложки высокий контраст, резкость рентгеновские трубки (низкая интенсивность) плазма, синхротрон (перспективны) Оптика: многослойные зеркала Шаблоны: металлические мембраны (~1 мкм) Возможность одновременного экспонирования большого числа деталей Возможность формирования сложного профиля края 4
ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ Длина волны электронов 0, 01 – 0, 001 нм Возможное разрешение 1 -20 нм Аналог сканирующего электронного микроскопа медленный процесс параллельные системы Взаимодействие электронов Источник – электронная пушка Оптика – электромагнитные линзы Последовательное экспонирование заряженные частицы энергией можно управлять эффект близости неоднородности проявке трудно компенсировать Дорогостоящее оборудование 5
ПЕРСПЕКТИВЫ Другие технологии Зондовая нанолитография (СЗМ) Наноимпринт литография Микроконтактная печать ( «soft» ) Ионно-лучевая литография Голографическая интерфереционная литография До сих пор не выбрана литография «следующего поколения» (NGL) 6
СПАСИБО ЗА ВНИМАНИЕ! Список использованных источников: üИнтернет-энциклопедия http: //ru. wikipedia. org, http: //en. wikipedia. org üС. В. Гапонов, Литография на длине волны 13 нм // Вестник РАН, т. 73, № 5, с. 392 (2003) üЭнциклопедия физики и техники http: //www. femto. com. ua üСловарь нано-терминов http: //thesaurus. rusnano. com üГусев А. И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии // М. , Наука. Физматлит, 2007. - 416 с.
Скачать презентацию Департамент Физический факультет ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ЭКЗАМЕН ЛИТОГРАФИЯ В ОБЛАСТИ
Дрягин_А.pptx