Аморфный кремний Выполнил студент гр 314 -М Кадыров

Аморфный кремний Выполнил студент гр. 314 -М Кадыров Алексей

Достоинства аморфного кремния 2 Ø Дешевизна; Ø Технологическая совместимость с с-Si; Ø Разнообразные материалы подложек и их размеры; Ø Радиационная стойкость; Ø Высокие коэффициент поглощения и фоточувствительность. - Низкая производительность; - Ухудшение параметров под действием солнечного света.

Способы получения 3 1. Прокаливание диоксида кремния: Si. O 2 + 2 Mg = 2 Mg. O + Si. 2. Разложение Si. H 4 в плазме ВЧ газового разряда в условиях низкого вакуума. 3. Модифицирование аморфного кремния путем добавления нанокристаллического кремния (объемная доля 5 -10%).

Разложение Si. H 4 в плазме ВЧ газового разряда 4

Разложение Si. H 4 в плазме ВЧ газового разряда 5

6

7

8

9

10

11

12

13

Основные области применения 14 ü Дешевые преобразователи солнечной энергии; ü Матрицы тонкопленочных полевых транзисторов; ü Компоненты оргтехники (сенсоры, дизиметры диапазона излучения и пр. ).

15 Спасибо за внимание!