1 Plasma Application Lab. Cheju National University Напыление

1 Plasma Application Lab. Cheju National University Напыление пленок Zn. O с помощью плазматрона

2 Plasma Application Lab. Cheju National University 1. Напыление и исследование пленок Zn. O

3 Plasma Application Lab. Cheju National University Схема плазматрона и условия напыления 1 – катод ; 2 – анод ; 3 – поток аргона ; 4 – активационная камера ; 6 – подача кислорода ; 7 — вода ; 8 – контейнер с прекурсором ; 9 – нагреватель ; 10 – результирующий поток плазмы. Ток разряда — 50 A, напряжение – 15 В Расход газа – от 0. 1 до 2 л/мин Расход воды – 0. 2 – 0. 4 см 3 /мин прекурсор — Zn(C 5 H 7 O 2 )

4 Plasma Application Lab. Cheju National University Исследование пленок • Рентгеновская дифрактометрия (Rigaku DMAX 2200). • Элипсометрия (Gaertner L 1160 ) • РФЭС (ESCA 2000) • Спектрофотометрия (Shimadzu MPC 3100 ) • Рентгеновский флюорисцентный анализ ( Rigaku RS 200 )

5 Plasma Application Lab. Cheju National University. Скорость напыления и температура подложки 0, 4 0, 6 0, 8 1, 0 1, 2 1, 4 1, 6 1, 8 2, 0 2, 260708090 8, 08, 28, 48, 68, 89, 0 D e p o sitio n ra te , n m /m in Temperature S u b stra te te m p. , C Ar flow rate, L/min Deposition rate

6 Plasma Application Lab. Cheju National University 0, 40, 60, 81, 01, 21, 41, 61, 82, 02, 2 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 I=50 A I=100 A S ubstrate tem p. Ar flow, l/min Ambient temperature. Зависимость температуры подложки от тока

7 Plasma Application Lab. Cheju National University XPS spectra

8 Plasma Application Lab. Cheju National University 3. Сравнение вакуумного и атмосферного напыления

9 Plasma Application Lab. Cheju National University Рентгеновская дифракция Дифракционные кривые a – напыление на воздухе ; b – напыление при P=6 м. Бар

10 Plasma Application Lab. Cheju National University 1101001000 3 4 5 6 7 8 9 10 11 D eposition rate, nm /m in Pressure, m. Bar. Зависимость скорости напыления от давления

11 Plasma Application Lab. Cheju National University Прозрачность a – вакуумное напыление ; b – на воздухе

12 Plasma Application Lab. Cheju National University 5. Применение

13 Plasma Application Lab. Cheju National University. Защитное покрытие для солнечных нагревателей Вакуум Поглощающее покрытие. Акриловая труба с защитным покрытием (20~40 nm of Zn. O ) Канал для теплоносителя

14 Plasma Application Lab. Cheju National University

15 Plasma Application Lab. Cheju National University Измерение скорости натекания (a) – обычная труба (b) – труба с покрытием 0 1 2 3 424681012 P re ssu re , T o rr Time (day) a b

16 Plasma Application Lab. Cheju National University. Нанесение защитного покрытия на внутреннюю поверхность трубы

17 Plasma Application Lab. Cheju National University

18 Plasma Application Lab. Cheju National University

19 Plasma Application Lab. Cheju National University

20 Plasma Application Lab. Cheju National University Список публикаций