Вакууметры, Масс-спектрометрия, течеискание, МС - вторичных ионов
ПРИБОРЫ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ - ВАКУУММЕТРЫ
Деформационный вакуумметр сечение
Термопарный вакуумметр
Ионизационный вакуумметр Принцип действия электронного вакууметра (преобразователя) основан на прямой пропорциональности между давлением и ионным током, образовавшимся в результате ионизации термоэлектронами остаточных газов.
Электронные системы магнитных преобразователей а) ячейка Пеннинга; б) магнетронная; в) инверсно-агнетронная; 1 — катоды; 2 — аноды Относительная чувствительность преобразователей
Магнитный Масс-спектроментр
Магнитный Масс-спектроментр
Ионный источник Ee= Ei = 10 В
Времяпролетный МС t= d/v =d(m/2 e. U)1/2 d U v= 2 e. U/m t
Квадрупольный масс-спектрометр 1. Ионизация атомов газа 2. Фильтр масс ионов 3. Детектор ионов Разрешение в масс-спектре: DM/M = Const, DM <1, при М<100 U = U= + V≈Coswt
Квадрупольный масс-спектрометр
ПРИНЦИПИАЛЬНАЯ СХЕМА МОНОПОЛЯРНОГО МАСС-СПЕКТРОМЕТРА
Умножитель вторичных электронов (фотонов)
Канальный ВЭУ
Канальный ВЭУ
Относительные интенсивности линий чистых газов в МС
Типичный спектр монополярного масс-спектрометра (P=2 x 10 -10 Торр)
Методы течеискания 10 -17
Ионная пушка P =10 -5 Тор P =10 -9 Тор
Масс-спектрометрия вторичных ионов (SIMS) 1. Разрушение поверхности образца дает послойный анализ в глубину. 2. Сканирующий пучок ионов – ионные микроскопы дают на дисплее визуальное изображение состава поверхности !
Эксперимента установка ИОФАН, к. 413 STM, LEED-chamber gas inlets Introduct. chamb. Analytical chamber Ion gun LEED MS STM “GPI-300” Pbase=8 x 10 -11 Торр Q = 0, 1 МС/мин Sample holders Cu, Ag, Au-evaporation cells AES
Трех- камерная СВВ установка (ИОФ РАН, корп 1, к. 413)
Литература. 1. 2. 3. Уэстон Дж. Техника сверхвысокого вакуума. – М. : Мир, 1988. Розанов Л. Н. Вакуумная техника. – М. : Высшая школа, 1982. ФА. Пипко, В. Я. Плисковский и др. Основы вакуумной техники – М. : Энергоиздат, 1981. 4. Fundamentals of Vacuum Technology - Leybold vacuum products and reference book 2001/2002 (Fundamentals of Vacuum Technology. pdf) 5. Праттон М. Введение в физику поверхности. – Ижевск: R&C, 2000. (Праттон. pdf), главы 2 и 6. 6. К. Оура, В. Г. Лифщиц, А. А. Саранин, А. В. Зотов Введение в физику поверхности. – М. : Мир, 2006.