Презентация cycle of vacuum chamber

УСТРАНЕНИЕ ВЛИЯНИЯ ВРЕМЕНИ ГОДА НА ЦИКЛ РАБОТЫ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ Установка: вакуумная для магнетронного напыления покрытий Вакуумное напыление это — нанесение пленок или слоев на поверхность деталей или изделий в условиях вакуума (10 -1 • 10 -7 Па). Диаметр камеры: 1700 мм Длина камеры 1800 мм

Создание вакуума в установке, использующейся на предприятии, осуществляется с помощью планжерного форваккумного насоса и двух паромасляных насосов. Рабочей средой, которая захватывает молекулы газа и выводит их в окружающую среду, является вакуумное масло. Поэтому данный вид насосов наиболее эффективно работает при откачке сухих газов. Эффективность откачки резко снижается при повышении влажности воздуха, так как вакуумное масло плохо захватывает молекулы воды. В зимнее время года при температуре в вакуумном отделении 19 -21 о С и влажности воздуха менее 30% время создания глубокого вакуума составляет 55 минут. В межсезонье и летний период при повышении температуры и влажности воздуха происходит увеличение времени создания вакуума до двух раз, т. е. до 110 минут. Основная причина заключается в том, что при открывании камеры в ее полость поступает воздух при атмосферном давлении и расширяется, что приводит к выпадению из него имеющееся в нем влаги в виде воды. Выделившаяся таким образом вода оседает на стенки камеры и частично ими впитывается. Последующий цикл работы камеры связан с откачкой не только воздуха с повышенной влажностью, но и с необходимостью высушивания внутренних поверхностей от выделившейся и впитавшейся в стенки камеры влаги. Описание проблемы Как исключить влияние сезонных изменений влажности на время откачки камеры?

Изготовление камеры из дорогостоящих материалов, которые не впитывают влагу. Недостаток: высокая себестоимость продукции. Нагрев стенок камеры во время ее откачки до глубокого вакуума и охлаждение стенок в процессе нанесения покрытий. Недостаток: техническая сложность и высокая себестоимость. Создание микроклимата с низкой влажностью в помещении. Недостаток: практическая невозможность достижения результата, что связано с особенностями технологического процесса. Осушение воздуха с помощью осушителя перед его подачей в камеру при ее открывании. Недостаток: низкая производительность существующих осушителей, которая не позволяет осушить необходимое количество воздуха при необходимой скорости подачи воздуха в камеру. Применение других типов насосов, не использующих масло. Недостаток: высокая себестоимость продукции. Существующие методы решения проблемы