Напыление пленок Zn O с помощью плазматрона Plasma

Напыление пленок Zn. O с помощью плазматрона Plasma Application Lab. Cheju National University 1

1. Напыление и исследование пленок Zn. O Plasma Application Lab. Cheju National University 2

Схема плазматрона и условия напыления 1 – катод; 2 – анод; 3 – поток аргона; 4 – активационная камера; 6 – подача кислорода; 7 - вода; 8 – контейнер с прекурсором; 9 – нагреватель; 10 – результирующий поток плазмы. Ток разряда - 50 A, напряжение – 15 В Расход газа – от 0. 1 до 2 л/мин Расход воды – 0. 2 – 0. 4 см 3/мин прекурсор - Zn(C 5 H 7 O 2)2 Plasma Application Lab. Cheju National University 3

Исследование пленок • Рентгеновская дифрактометрия (Rigaku DMAX 2200). • Элипсометрия (Gaertner L 1160 ) • РФЭС (ESCA 2000) • Спектрофотометрия (Shimadzu MPC 3100 ) • Рентгеновский флюорисцентный анализ (Rigaku RS 200) Plasma Application Lab. Cheju National University 4

Скорость напыления и температура подложки Plasma Application Lab. Cheju National University 5

Зависимость температуры подложки от тока Plasma Application Lab. Cheju National University 6

XPS spectra Plasma Application Lab. Cheju National University 7

3. Сравнение вакуумного и атмосферного напыления Plasma Application Lab. Cheju National University 8

Рентгеновская дифракция Дифракционные кривые a – напыление на воздухе; b – напыление при P=6 м. Бар Plasma Application Lab. Cheju National University 9

Зависимость скорости напыления от давления Plasma Application Lab. Cheju National University 10

Прозрачность a – вакуумное напыление; b – на воздухе Plasma Application Lab. Cheju National University 11

5. Применение Plasma Application Lab. Cheju National University 12

Защитное покрытие для солнечных нагревателей Акриловая труба с защитным покрытием (20~40 nm of Zn. O) Вакуум Plasma Application Lab. Cheju National University Канал для теплоносителя Поглощающее покрытие 13

Plasma Application Lab. Cheju National University 14

Измерение скорости натекания (a) – обычная труба (b) – труба с покрытием Plasma Application Lab. Cheju National University 15

Нанесение защитного покрытия на внутреннюю поверхность трубы Plasma Application Lab. Cheju National University 16

Plasma Application Lab. Cheju National University 17

Plasma Application Lab. Cheju National University 18

Plasma Application Lab. Cheju National University 19

Список публикаций Plasma Application Lab. Cheju National University 20