1 Напыление пленок ZnO с помощью плазматрона 2

1 Напыление пленок ZnO с помощью плазматрона

2 1. Напыление и исследование пленок ZnO

3 Схема плазматрона и условия напыления 1 – катод; 2 – анод; 3 – поток аргона; 4 – активационная камера; 6 – подача кислорода; 7 - вода; 8 – контейнер с прекурсором; 9 – нагреватель; 10 – результирующий поток плазмы. Ток разряда - 50 A, напряжение – 15 В Расход газа – от 0.1 до 2 л/мин Расход воды – 0.2 – 0.4 см3/мин прекурсор - Zn(C5H7O2)2

4 Исследование пленок Рентгеновская дифрактометрия (Rigaku DMAX 2200). Элипсометрия (Gaertner L1160 ) РФЭС (ESCA 2000) Спектрофотометрия (Shimadzu MPC 3100 ) Рентгеновский флюорисцентный анализ (Rigaku RS200)

5 Скорость напыления и температура подложки

6 Зависимость температуры подложки от тока

7 XPS spectra

8 3. Сравнение вакуумного и атмосферного напыления

9 Рентгеновская дифракция Дифракционные кривые a – напыление на воздухе; b – напыление при P=6 мБар

10 Зависимость скорости напыления от давления

11 Прозрачность a – вакуумное напыление; b – на воздухе

12 5. Применение

13 Защитное покрытие для солнечных нагревателей

14

15 Измерение скорости натекания (a) – обычная труба (b) – труба с покрытием

16 Нанесение защитного покрытия на внутреннюю поверхность трубы

17

18

19

20 Список публикаций